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X光自动化在线检测系统诞生 瞄准HBM与玻璃基板TGV制程

发布日期:2026-04-07     1 次

4月2日消息,据韩国媒体Thelec报道,韩国半导体检测设备开发商SEC近日宣布,已完成一款基于X光技术的自动化在线检测系统开发,适用于高带宽内存(HBM)生产线。

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据介绍,这款基于X光线的检测设备名为Semi-Scan-SW,可侦测在HBM堆叠制程中产生的3微米(μm)至5微米缺陷。与光学检测设备不同,X光技术可进行非破坏性的芯片内部检测,而这款设备亦可应用于玻璃基板的TGV制程检测。该设备支持芯片与中介层(interposer)之间的晶圆级封装(WLP)键合制程检测。SEC预期,该设备将扩大其客户基础,涵盖晶圆代工厂及封装测试厂。

SEC计划在Smart SMT ?& PCB Assembly(SSPA)2026展览中,首次展示Semi-Scan-SW系统,来拓展更多全球客户。自本月起,该公司计划向主要HBM制造商与先进封装企业取得评价样品,并启动内部Alpha测试,后续阶段将包括Beta测试(向客户提供示范设备),以及最终的产品验证。

资料显示,SEC成立于2000年,自2002年起投入X光检测设备开发,并于2006年实现工业用X光产生器商业化。该公司最初专注于表面黏着技术(SMT),其后拓展至车用电子、半导体、电池与国防领域。目前亦正在开发基于电子束的玻璃基板钻孔设备、癌症治疗装置及灭菌系统。该公司于去年取得用于HBM的X光线上检测技术,成为Semi-Scan-SW系统的核心基础。


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