尘埃粒子计数器在半导体集成电路生产洁净室中的应用

发布日期：2023-07-04

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集成电路制造需要在超清洁的环境之中进行。这是一个使用超纯材料进行超精细加工的行业。集成电路制造对洁净室环境的控制有着严格的要求，不同的工艺对洁净度有着不同的要求。例如，我们也知道光刻需要1级微环境，而化学机械抛光需要1000级微环境。

半导体集成电路在生产过程中会接触到很多污染物，如无机离子、有机物、微生物、气体杂质等。另外，从广义之上讲，温度、湿度、光照不当、静电过大、电磁噪声、空气噪声、微振动等也是特殊污染物。

尘埃粒子计数器用于半导体集成电路生产的洁净室

其中，当颗粒杂质、无机离子、有机物、微生物和气体杂质的含量超过一定限度时，集成电路产品会出现表面划伤、图案断裂、短路、针头孔、剥落等现象。它会导致电路泄漏和电气特性异常，影响电路性能和使用寿命，或导致电路报废。

一般来说，由污染引起的电路产品故障率可能高达60%。总之，IC芯片的成品率与芯片的缺陷密度有关，缺陷密度与空气之中粒子的数量有关。因此，随着集成电路的快速发展，不仅要控制空气之中粒子的大小，还要控制空气之中粒子的数量。同时，对超大规模集成电路生产环境无尘车间项目的化学污染控制也有相关要求。

半导体集成电路生产洁净室采用尘埃粒子计数器

针对这种情况，使用远程空气尘埃粒子计数器对半导体集成电路生产车间环境进行监测，确保产品生产环境达到清洁标准，工矿网技术工程师建议使用美国particles plus公司的远程空气尘埃粒子计数器-5301，配置简单，可从一台仪器转移到另一台仪器，易于清洁和擦拭，具有最小的粒子捕集器，多功能安装选择，与设备监控系统无缝集成。

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