自动化半导体参数测试解决方案

自动化半导体参数测试系统

• 失效分析测试（FA）
• 质量控制测试（QA）
• 可靠性分析测试（RA）。其中S540支持高压功率半导体自动化参数测试。

S530 功能

• 灵活的探测器接口选项，包括测试头，支持原有吉时利和 Keysight 装置
• 触摸一次探头即可完成高压和低压参数的测试
• 通过全新系统参考单元 (SRU) 进行全自动系统级校准符合最新质量标准
• KTE 7 中的运行状况检查软件工具最大限度地延长系统正常运行时间和提高数据完整性
• 内置的瞬态过电压和/或过电流事件保护可最大程度地减少代价高昂的系统停机或对晶片造成损坏

S540 功能

• 在单次探头触摸中自动在多达 48 个引脚上执行所有晶片级参数测试，包括高电压击穿、电容和低电压测量，而无需更改电缆或探头卡基础设施
• 在最高达 3kV 的条件下执行晶体管电容测量，如 Ciss、Coss 和 Crss，而无需手动配置测试引脚
• 在高速、多引脚、全自动测试环境中实现低电平测量性能
• 非常适合于过程集成、过程控制监控和生产芯片分类中的全自动或半自动应用
• 通过最大程度减少测试时间、测试设置时间和占地面积，降低拥有成本，同时实现实验室级测量性能

4080系列参数测试仪

• 同步和异步并行测试可将吞吐量提高50%或更多
• 1 fA 和0.1 μV 测量分辨率
• 可选HSCMU
• 环形振荡器测量解决方案选件

4083A

• 通过10个射频端口进行S参数和RFCV测来给你
• 可选20GHz 8×10 射频矩阵，提高吞吐量。
• 支持10个射频端口和48个直流引脚