2657A 大功率系统数字源表

2657A是一种高电压、高功率、低电流源测量单元（SMU），具有迄今为止最高的功率、 精度、速度、灵活性和易用性，能够大大提高研发、生产测试和可靠性环境的测试效 率。2657A是专门针对高压电子和功率半导体器件的特征分析与测试而设计的，例如 二极管、FET和IGBT，以及其它一些需要高电压、快速响应和精确测量电压和电流的元 件和材料。2657A是吉时利功率半导体特征分析和测试解决方案的2600A系列产品，具 有业界最高的功率和最佳的低电流性能。这些用户可配置的解决方案采用了业界最 强大的参数式特征分析软件平台，能够随着用户应用的发展进行升级。

2657A与其它2600A系列数字源表一样，具有高度灵活的四象限电压和电流源/负载， 并配置了精密电压和电流计。它可以用作：

• 半导体特征分析仪
• 电压或电流波形发生器
• 电压或电流脉冲发生器
• 支持电压和电流读回的精密电源
• 真电流源
• 数字万用表（DCV、DCI、欧姆 和六位半分辨率电源）
• 精密电子负载

2657A能够提供或吸收高达3000V@20mA或1500V@120mA的电源

典型应用：

• 功率半导体器件特征分析与测试
• GaN、SiC和其它一些复合材料与器件 的特征分析
• 高达3kV的击穿与漏流测试
• 亚毫秒瞬态特征分析

两种测量模式：数字式或积分式 利用2657A的两种测量模式，可以对器件的瞬态和稳态特性进行精确的特征分析，包括快 速改变热效应。每种模式是由其独立的模数（A/D）转换器决定的。

数字式测量模式能够实现高达1μs的采样速度。利用其双18位数字转换器能够同时捕获 电压和电流瞬态。在积分式测量模式下，利用其双22位积分式模数转换器能够实现更精 确的电压与电流测量。每种测量模式都使用两个A/D转换器，一个用于电流，另一个用于 电压，两个转换器同时工作可以实现精确的电源读回，且不影响测试产能。

双高速A/D转换器能够实现最快每点1μs的采样速度，支持电压和电流的全同时特征分析。

扩展功能

通过TSP-Link®技术，2657A能够与其它2600A系列仪器连接在一起，构成更大的具有最高 32个节点的集成式系统。内置的500ns触发控制器能够确保精确定时与紧密通道同步功 能。利用完全隔离且独立的数字源表通道可以进行真正的每pin脚SMU测试。

高功率器件测试夹具

8010高功率器件测试夹具能够为高达3000V或100A下带封装的高功率器件的测试提供安全和 方便的连接。8010提供的连接支持一个高压数字源表（2657A）、一个或两个高电流数字源表 （2651A）、三个低功率数字源表（其它2600A系列或4200-SCS SMU）。利用这一功能，就可以 安全而准确地对双端（二极管）、三端（晶体管）甚至四端或五端器件进行特征分析。8010具 有全互锁功能最多可支持六台数字源表。8010集成了保护电路，能够保护低压数字源表免受 2657A输出高压造成的器件故障。8010内含高电流（100A）和高电压（3000V）测试测试接口。还 有可选的各种备用测试接口，包括TO-247、TO-220、轴心线，以及可以构建自定义接口的一个 空接口模块。除了标准的香蕉跳线，8010还具有背板指示器和热探针端口，可简化系统集成。

2600A系列仪器的标准功能

2每台2657A都具有其它2600A系列数字源 表所具有的特性和功能：
• 使用灵活，可用作台式I-V特征 分析工具，也可以作为多通道I-V 测试系统的组成模块；
• TSP Express软件，无需编程或安 装其它软件即可快速而方便地执 行常用的I-V测试。
• 用于半导体元件特征分析的ACS Basic Edition软件（可选）。ACS Basic Edition现在提供了“Trace” 模式，可产生一套特征曲线。
• 吉时利的Test Script Processor (TSP)技术支持创建并运行自定义 的用户测试脚本，用于实现高速自 动化测试，以及创建使测试仪能够 在没有PC直接控制的情况下进行 异步操作的程序序列。
• 当系统中多台2600A系列仪器 连接在一起时，具有并行测试 执行和精确定时功能。 • 兼容LXI Class C。
• 14位数字I/O线，用于直接连接探针 台、元件机械手或其它自动化工具。
• USB端口，用于通过USB存储器保存额 外的数据和测试程序。

8010型高功率器件测试夹具。

2657A背板